热传导真空计原理

热传导真空计

热传导真空计原理

    真空压力表可直接测量电阻炉内气体的压力，属绝对真空测量仪表。实际上在电阻炉真空度侧量中，除极少数低真空采用直接测量方法外，绝大多数采用间接测量方法，即通过测量与气体压力变化引起的物理现象，间接地反映气体压力的大小。根据气体分子热传导与压力有关这一物理现象制成的，间接地测量气体的压力的真空计称为热传导真空计。

    在玻璃管壳中安装一根热丝，给热丝通电发热，使其温度高于周围气体和管壳的温度，于是在热丝和管壳之间产生热传导。当达到热平衡时，热丝的温度决定于气体热传导。气体压力越高，传导的热量就越多，平衡温度也就越低。由此可知，热丝温度与气体压力存在着一定的对应关系，通过测量热丝的温度，便可计算出气体的压力。依据热丝温度的测量方法不同，常见的热传导真空计有三种，利用热丝随温度变化的线膨胀性质制成的膨胀式真空计;利用热电偶直接测量热丝的温度变化制成的热偶真空计;利用热丝电阻随温度变化的性质制成的电阻真空计，其中电阻真空计和热偶真空计是目前低真空测量中用得最多的两种真空计。