PVMK 阀是快速反应的杠杆操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封圈，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀采用铝或不锈钢制造，是一种价格低廉、安全可靠的隔离解决方案。

PVPK 阀是快速反应的气动操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封圈，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀带有直观和电子的阀状态指示功能，可以选择铝或不锈钢制造，是一种适合高循环负荷的低价阀。

PVEK 阀是紧凑的轻型电磁阀操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封环，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀采用铝或不锈钢制造，是一种价格低廉、安全可靠的隔离解决方案。

BRV 阀是手动或气动执行的前级/粗抽阀。它是一个完整的 3 接口装置，集独立的前级/粗抽阀的功能于一身。具备多种控制和指示功能，是一种价格低廉、安全可靠、易于操作的阀。

SIPVP 阀是气动操作的软启动型阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。

ISO 带法兰插板阀系列可采用多种材料和密封方式，提供极佳的整体密封性和真空完整性，同时具有最高的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能。

CF 带法兰插板阀可采用多种材料和密封方式，提供极佳的整体密封性和真空完整性，同时具有最高的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能，而且采用可加热式设计。

BGV 地下室插板阀经过针对性设计，采用简单、创新的楔形密封系统，消除了传统插板阀所使用的复杂机械装置。其优势包括在真空内不需要油、油脂和移动部件，因此降低了机械装置被制程中的粉尘污染的风险。

QSB 直角回转蝶阀是设计紧凑、反应迅速的高导电性隔离阀。采用不锈钢制造，带有 O 形密封圈，气动或手动执行。

进气阀系列共有三种设计，适合多种应用。从简单的螺纹塞设计到由电磁阀操作的阀，这些阀可安装在面板或管道上，是向真空系统进气的理想产品。 除了进气阀，Edwards 还提供可安装在面板或管道上的针阀，用于精细控制真空系统中的进气。

电控气动控制阀可用来控制气动执行的真空阀的运行。控制阀包括 3 接口和 5 接口两种型号，提供不同的电源电压和频率来适合您的应用。

参数