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高吞吐量扩散泵

         

概述

HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的顶尖产品,采用专门针对工业级用户的技术制造。 
Edwards HT扩散泵可用于所有高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以保证制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),非常适合涉及大量气体的工业制程。

应用

真空冶金

蒸馏、干燥和脱气

薄膜覆层和喷镀

大型研究活动

功能和优势

与同等尺寸的泵相比,吞吐量最高

与同等尺寸的泵相比,转换压力最快

极佳的最大前级压力和对气体激增的耐受性

与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速

集成的冷却帽,可实现最佳性能和极低的回流

针对超低压的自行分馏

易于更换的加热器组件

半功率节能待机模式

油位观察窗为标准配置

技术数据

 

HT10

HT16B

相对抽速(ls-1)

4650

11580

ISO 抽速(ls-1)

 

 

  氮气

3000

6500

  氦气

4650

7200

AVS 泵送(ls-1)

 

 

  氮气

3330

7220

  氦气

5165

8000

最大吞吐量(氮气)(m bar ls-1/ Torr ls-1)

10 /7.5

18 / 13.5

临界前级压力 (DC704EU)(mbar / Torr)

1.1 / 0.8

1.4 / 1

最大吞吐量时的最小前级泵排量(m3h-1/ ft3min-1

60 /35

94 / 55

推荐的前级泵‡

GV80,E2M80

GV80,GXS250,E2M175

推荐的液体

DC704EU

DC704EU

液体充填量(干)(ml / qt)

1250 l / 1.3

2400 / 2.5

进气口/前级连接

ANSI10/ANSI2 或

EO12 inch/EO130 mm

或 ISO320/ISO63

ANSI16/ANSI3 或

 ISO500/ISO100

水接头

3/8 英寸 NPT 母头

加热器功率(kW/hp)

5.1 /6.8

9 /12

预热时间(min)

30

60

25°C 时的最小冷却水流速(l h-1 /  US gal min-1

400/ 1.8

700/ 3.1

冷却水供给源两端的压力降(bar /psi)

1 /14.5

1 /14.5

重量(kg / lbs )

80 / 176

185 / 408