
高吞吐量扩散泵
概述
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的顶尖产品,采用专门针对工业级用户的技术制造。
Edwards HT扩散泵可用于所有高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以保证制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),非常适合涉及大量气体的工业制程。
应用
真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动
功能和优势
与同等尺寸的泵相比,吞吐量最高
与同等尺寸的泵相比,转换压力最快
极佳的最大前级压力和对气体激增的耐受性
与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速
集成的冷却帽,可实现最佳性能和极低的回流
针对超低压的自行分馏
易于更换的加热器组件
半功率节能待机模式
油位观察窗为标准配置
技术数据
|
HT10 |
HT16B |
相对抽速(ls-1) |
4650 |
11580 |
ISO 抽速(ls-1) |
|
|
氮气 |
3000 |
6500 |
氦气 |
4650 |
7200 |
AVS 泵送(ls-1) |
|
|
氮气 |
3330 |
7220 |
氦气 |
5165 |
8000 |
最大吞吐量(氮气)(m bar ls-1/ Torr ls-1) |
10 /7.5 |
18 / 13.5 |
临界前级压力 (DC704EU)(mbar / Torr) |
1.1 / 0.8 |
1.4 / 1 |
最大吞吐量时的最小前级泵排量(m3h-1/ ft3min-1) |
60 /35 |
94 / 55 |
推荐的前级泵‡ |
GV80,E2M80 |
GV80,GXS250,E2M175 |
推荐的液体 |
DC704EU |
DC704EU |
液体充填量(干)(ml / qt) |
1250 l / 1.3 |
2400 / 2.5 |
进气口/前级连接 |
ANSI10/ANSI2 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63 |
ANSI16/ANSI3 或 ISO500/ISO100 |
水接头 |
3/8 英寸 NPT 母头 | |
加热器功率(kW/hp) |
5.1 /6.8 |
9 /12 |
预热时间(min) |
30 |
60 |
25°C 时的最小冷却水流速(l h-1 / US gal min-1) |
400/ 1.8 |
700/ 3.1 |
冷却水供给源两端的压力降(bar /psi) |
1 /14.5 |
1 /14.5 |
重量(kg / lbs ) |
80 / 176 |
185 / 408 |