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蒸汽增压泵

         

概述

Edwards 蒸汽增压泵以介于机械增压泵与扩散泵之间的压力更高抽速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本领域经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和现代化计划并汲取 OEM 和最终用户的意见,加之其固有的可靠性、易用性和对各种不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵广泛应用于冶金和镀膜行业及其他专门领域。

应用

真空冶金

蒸馏、干燥和脱气

薄膜覆层和喷镀

大型研究活动

功能和优势

高工作压力下实现极高抽速

工作压力下实现极高吞吐量

快速转换实现出色的抽气速度

已经过 40 多年行业实践检验

出色的可靠性

可以取代 Stokes 16" 液环射流增压泵

锅炉填注口便于进行清洁

技术数据

 

18B4B

30B5M

抽速(空气)(ls-1)

4000

12500

最大吞吐量(mbar ls-1/Torr ls-1)

100/75

300 / 225

临界前级压力(有 AP201 流体)(mbar/ Torr)

2-2.6 /1.5-2

5.3-6 /4-4.5

推荐前级泵排量(m3h-1/ft3min-1)

190/112

290/ 171

推荐的前级泵

GXS450、E2M275

GXS450、E2M275

推荐的液体

Apiezon® AP201

Apiezon® AP201

液体充填(l/qt)

10 / 9.5

55/52

入口连接

387.4 PCD (Edwards) 上的 8x11mm 孔/ANSI 12 英寸/ISO320

686.0 PCD 上的 12 个 20.60 孔

前级连接

2 英寸管接头 (Edwards)/ANSI 4 英寸/ISO160

235.0 PCD 上的 4 个 16.70 孔

水接头

 

1 英寸 BSP

加热器功率(kW/hp)

6.0 /8

22.5 / 30

预热时间(mm)

60

60

最小水流入口(20oC)(l h-1 /  US gal min-1)

375/ 1.8

2250/ 9.9

水封螺纹孔

½ 英寸 BSP

 

重量(kg/ lbs)

165/365

620/1367