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概要
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本最多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的最快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
技术数据
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GX100 |
GX600 |
GX1000 |
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性能 |
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峰值速度 |
105 m3h-1 |
620 m3h-1 |
800 m3h-1 |
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62 ft3min-1 |
365 ft3min-1 |
471 ft3min-1 |
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1750 lmin-1 |
10333 lmin-1 |
13333 lmin-1 |
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极限压力 |
5 x 10-3 mbar |
7 x 10 -4 mbar |
1 x 10-3 mbar |
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3.75 x 10-3 Torr |
5.25 x 10-4 Torr |
7.5 x 10-4 Torr |
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0.5 Pa |
0.07 Pa |
0.10 Pa |
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700 Torr 排气压力下的极限 |
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功率 |
1 kW |
1.6 kW |
1.6 kW |
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AUC（有源设备控制器） |
0.05 kW |
0.05 kW |
1.05 kW |
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水* |
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水入口 |
1 slm |
2 slm |
2 slm |
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氮气 |
0 slm |
0 slm |
4 或 14 slm ** |
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安装详细信息 |
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占地面积（不包括排气装置） |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
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重量 |
120 kg |
220 kg |
230 kg |
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入口连接 |
ISO 63 |
ISO 100 |
ISO 100 |
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出口连接 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
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极限噪音 |
<55 dB(A) |
<55 dB(A) |
<55 dB(A) |
