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iGX系列干泵
概述
iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本最多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的最快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
技术数据
峰值速度 |
105 m3h-1 |
620 m3h-1 |
|
62 cfm |
365 cfm |
|
1750 l min-1 |
10333 l min-1 |
极限压力 |
5.00E-03 mbar |
7.00E-04 mbar |
|
3.75E-03 Torr |
5.25E-04 Torr |
|
0.50 Pa |
0.07 Pa |
AUC(有源设备控制器) |
0.05 kW |
0.05 kW |
水入口* |
1 slm |
2 slm |
氮 |
0 slm |
0 slm |
占地面积(不包括排气装置) |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
重量 |
120 kg |
220 kg |
进气口连接 |
ISO63 |
ISO100 |
出口连接 |
NW25 |
NW25 |
极限噪音 |
< 55 dB(A) |
< 55 dB(A) |