无油涡旋真空泵的技术与应用

    上个世纪90年代初，世界上首台涡旋真空泵推向市场，涡旋技术开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。无油涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气单元。动涡旋盘由偏心轴驱动与静涡旋盘做相对摆动运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成吸气、压缩、排气的循环。
　　与其他种类的无油真空泵相比无油涡旋真空泵具有下述特点：
　　①.无油，无摩擦---非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空；
　　②.抽气量大---双涡旋盘结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源；
　　③.抽气效率高---带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由0型圈密封，泄漏低；
　　④.非接触，良好平衡，力矩影响小，噪音低，振动小；
　　⑤.结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳；
　　⑥.体积小，维修方便，维护费用低；　　
　　⑦.采用空气冷却，无需水冷。
　　该涡旋真空泵主要应用于下述领域：
　　①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；
　　②科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；
　　③机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；
　　④化学工业；
　　⑤医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备；
　　⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。
　　该涡旋真空泵能够给用户解决真空系统的污染与振动等基础、共性问题，并且使系统制造与运行成本降低。因此在国外市场扩展迅速，仅日本一个公司产品在中国最近3年间销售额就增长了10倍。是一项不容忽视的技术与产品。
　　本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用，内容包括从涡旋技术的发展到无油涡旋真空泵的工作原理、制造工艺、技术指标、特点、基本用途和实际应用方法；对无油涡旋真空泵技术有一个系统的介绍。