真空泵真空测量技术

真空设备^[1]的抽气过程和真空工艺过程中压强和残余气体成分是关系到工艺质量的重要指标，因此，任何抽气系统中都要采用真空计和质谱计分别测出工艺过程中的压强和气体成分。显然，很少用一种真空计来测量所有真空度范围的压强，而是采用不同类型的真空计分别进行相应范围内压强的测童。常用的真空计为:

　　1.静态变形真空计

　　它是根据气体分子作用在弹性元件上的力与压强有关的原理而测量气体压强的，而且测址的压强范圈较高。

　　2.静态液体真空计

　　利用注入水银或扩散油泵的U形管两边的液面高度差来指示系统中压强，这是一种最简单的真空计，用来侧量粗真空范围内压弧。

　　3.麦民计

　　麦氏计又称为压缩式真空计，它是根据玻义耳一马略特定律，将气体压缩，压强升高，使玻管中出现液面的高度差来指示气体压强的。这是一种绝对真空计，常用来对其它真空计进行校准刻度。

　　4.热传导真空计

　　利用气体分子的热传导在某压强范围内与气体分子数有关来间接测量出系统中的压强，通常有电阻真空计(即皮雷尼真空计)和热偶真空计两种。

　　5.电离真空计

　　利用气体分子与带电粒子相碰撞而产生电离，收集正离子流，并侧量出它们的数值，便可间接地指示气体的压强。属于电离真空计的有普通热阴极电离真空计、中量程真空计、B-A计、冷阴极放电真空计、各种磁控电离真空计和侧量10-10。帕以下压强的极高真空计

　　(如弯注规、抑制规等)。

　　另外，在生产中常采用高频火花发生器从外部激发真空系统的玻瑞部分，以气体放电颜色来鉴别真空度。这是因为自由电子与气体分子相碰撞而产生分子跃迁时会发出不同颇色。电子具有的能盆大，气体分子获得的能量也大，分子得到能量后外层电子被激发跃迁，由于‘它们处于不稳定状态，很快又恢复到原先的稳定状态，并以光的形式放出这部分能量．