真空泵是结晶硅和太阳能电池制造过程中的重要基础设备，用于从硅片成形到最终层压的重要制程。基于第5代和第8代玻璃的薄膜太阳能电池对真空的要求比基于硅的电池几乎要高出6倍，并对有毒和PFC废气的减排提出更大挑战。有着90多年历史的Edwards公司，今年7月获得2011年SEMICON West可持续技术奖，就是对其不断创新能力的充分肯定。

Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones称，Edwards是唯一能为全球范围太阳能电池制造商提供广泛的真空和尾气处理设备系列的制造商，其设备用于太阳能电池和LED制造的多个工艺阶段。Edwards的工艺和专有技术涵盖晶体和薄膜光伏(PV)太阳能行业，并致力于服务太阳能行业，投资开发环保技术，降低发电成本。Edwards拥有丰富多样的适用于太阳能行业与生物燃料行业的真空产品，并提供支撑这些新兴技术制程所需的所有真空专业技能。

Edwards面向太阳能设备制造应用开发出iXH真空泵系列产品，以应对光伏行业面临环境、健康和安全的挑战。在太阳能电池的制造过程中，需要使用泵机抽取输送大量的氢气，而iXH系列在设计上采用紧凑、经济、节能且易于配置的模块化系统，能够同时满足硅及薄膜太阳能电池制造的泵机抽取输送需求，解决了在针对太阳能电池制造沉积TCO薄膜中涉及的泵难题，结合Edwards的iXH干泵系统与分子真空泵和减排系统，便能为太阳能设备制造提供种类齐全的泵机抽取输送与废气管理产品体系。

氢气分子体积小、粘性低，用泵机很难抽取输送。iXH泵送系统使用了一系列大容量泵机与增压泵，以达到有效抽取输送氢气所需的最佳压缩比。该系统采用模块化设计，各部件可上下堆叠，从而实现业界最小的占地面积，且具备高度可配置性，既满足了硅或薄膜类太阳能设备的现场安装要求，又符合其制造工艺的性能标准。

根据具体的应用要求而配置的多个iXH模块，由同一个控制器进行管理，对于操作员而言，它们是一个易于使用、完美集成的真空系统。在泵送系统的使用寿命周期内，使用Edwards的新型iXH干泵便不需进行预防性维护，从而帮助进一步降低系统拥有成本。Neil表示，面向半导体与太阳能光伏制造业的FabWorks监视与分析系统，借助FabWorks V2软件所提升的工厂效率能在一年之内收回软件的安装成本。

为太阳能光伏制造选择合适的真空和减排技术，可降低先期成本、能耗、维护要求、排放并提高了操作人员的安全性。FabWorks V2是一个许可软件包，可以集成于服务合同中。Neil介绍，FabWorks V2是一个网络服务器，可以同时支持LonWorks®设备与以太网设备，一个预装了FabWorks V2的服务器最多能监视3000个设备（如泵机与减排系统设备）。FabWorks V2还提供多个选项，能进一步缩减工厂运行成本并提供高价值服务。其中包括Edwards的高级诊断服务(ADS)、智能警报功能(通过传呼机/电子邮件/短信与RSS发送警报）、开放式连接（通过GEM/SECSII或OPC)及定制报告。

ADS可以降低工具总拥有成本，避免工艺中发生系统停顿，帮助客户延长正常运行时间，而系统停顿会降低良品率，从而影响产量。该服务能够进一步帮助用户优化其维护成本。

高级的制程真空和减排成套技术及优质的全球服务，为太阳能市场贡献自己的力量。新产品将专注于减少晶体硅(c-Si)和薄膜PV太阳能电池的每瓦制造成本。

市场上存在不同类型的太阳能电池，但所有的制造过程均使用真空和减排技术，太阳能光伏制造业在世界各地的快速发展，推动了高级真空和减排解决方案在各个地区市场中的增长。Neil称，Edwards在真空和减排市场上均处于领先地位，为客户提供有助于降低每瓦晶体硅电池和薄膜电池成本的创新设备和集成解决方案。

Neil表示，晶体硅及薄膜太阳能电池生产需要基于真空的解决方案，太阳能电池板成本进一步降低技术则是关键，而领先的真空技术、紧密的团队合作及与客户间的相互信任，是Edwards得到中国用户认可的关键要素，Edwards与中国市场共成长。