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真空区域划分

真空区域划分

      

　
真空区域
压强范围
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10-3
1333~1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1~10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6~10-10
极高真空
＜10-12
＜10-10