当前位置: 首页>>真空知识>>涡旋式干泵常识

涡旋式干泵常识

涡旋式干泵常识

      
涡旋式干泵常识
Q
:什么是涡旋干式真空泵?
A
:不用油类或者液体密封的变容真空泵。
Q:涡旋干式真空泵的特点?
A:
无油、无污染
   
低噪音、低振动
   
使用寿命长
   
空气冷却
   
配自动气镇阀、可抽可凝性气体
Q:涡旋干式真空泵的主要用途?
A:
半导体制备设备与处理室抽真空泵;
   
用于液晶注入系统;
   
分子泵真空系统的前级泵;
   
真空密封泵;
   
冷泵前级;
   
用于科学和化学分析仪器;
   
真空发生器;
   
电子显微镜前级泵。
Q:涡旋干式真空泵使用注意事项?
A:
涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体,如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
  
检查确定此真空泵安全接地。
  
此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,最高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施防止受伤。
  
未加风扇盖前,不要启动泵。
  
泵工作条件要求:环境温度5~35℃。如果超过35℃,可能引起泵或电机性能下降。
  
必须安装电机保护开关。
   不要刮碰进气口与排气口法兰,以免损坏法兰口,导致真空度上不去。如果真空度上不去,更换法兰。
  
在进气口处装真空阀。
真空泵停止后进气口处真空度降低,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空室与泵之间安装真空阀。
  
排气口处要接排气管,以防灰尘进入泵内。
Q:涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项?
A:加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体,保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时,除上述注意事项外,还要注意:
  
不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体,如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
  
被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限,将缩短气镇阀寿命
  
定期检查
  
供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
Q:涡旋干式真空泵安装地点要求?
A:涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求:
   ①平面放置
   ②避免阳光直射
   ③环境温度5~35 ℃;湿度90%,或没有结露
   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
Q:涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项?
A:
检查确认此泵电源接地良好。
  
检查确认此泵电源为要求值。
  
在此泵与真空室之间安装保护开关。
Q:涡旋干式真空泵排气注意事项?
A:
涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体,如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
  
不要用此泵抽灰尘。
  
不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口,导致真空度上不去。如果真空度上不去,更换法兰。
  
在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空室与泵之间安装真空阀。
Q:涡旋干式真空泵联结方式?
A:①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小,可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
Q:涡旋干式真空泵操作注意事项?
A:
此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,最高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施防止受伤。
  如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
  
每天将泵启动2-3秒,排除灰尘和水。
Q涡旋干式真空泵开机注意事项?
A:①检查确认电源符合要求。
    ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关,启动泵。
Q:涡旋干式真空泵关机注意事项?
A:
停泵时,首先开启气镇阀,将泵运转5分钟,然后再关闭气镇阀。否则,轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀,导致泵性能损害。
Q:涡旋干式真空泵关机步骤?
A:①停泵时,首先开启气镇阀,将泵运转5分钟,然后再关闭气镇阀。否则,轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀,导致泵性能损害。关断电机保护开关。
    ②每天将泵启动2-3秒,排除灰尘和水。
Q:涡旋干式真空泵检查与维修注意事项?
A:按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查,可能对正常泵的工作显得过短:
部件
检查点与注意点
时间间隔
轴承
异常噪音(听)
每天检查
新更换轴承
8000小时
密封件如密封垫、O型圈
新更换密封件
8000小时

Q
:涡旋干式真空泵故障排除?
A
故障
原因
措施
电机不转,能听见泵工作声音但泵不能启动
电源问题或电压低于额定值
检查电源
泵被锁死
与当地经销商联系修理
真空度上不去
法兰口被刮伤
与当地经销商联系修理
真空管路问题导致漏气
检漏维修
管路被堵
加热除气或更换管路
噪音与振动过大
轴承损坏
与当地经销商联系换轴承
泵中进异物
与当地经销商联系修理
抽气口被堵
与当地经销商联系修理