正压检漏法和负压检漏法

正压检漏法

    正压检漏法是在真空电阻炉内充人一定压力的示漏气体，如果炉体或真空管道存在漏孔，示漏气体便从漏孔漏出。当漏率较大时，可通过观察漏孔处发生的现象来检查漏孔位置;如果漏率较小不便直接观察，可采用专用检漏仪器，靠近炉体或真空管道缓慢移动检漏仪器的探头，检测漏出的示漏气体，从而判定漏孔的位置及漏率的大小。

负压检漏法

    负压检漏是把高温箱式电阻炉抽成真空状态，在炉体或真空管道外部施加示漏气体，如果存在漏孔，示漏气体就会通过漏孔进入炉内，利用安装在炉内的气体探头检测出示漏气体来确定漏孔的位置，同时测量出漏率的大小。负压检漏分为静态检漏和动态检漏。采用静态检漏时，把电阻炉抽成真空状态后，关闭所有阀门和真空系统，用真空计进行检漏，这种方法可以确定漏孔的位置，但很难测量出漏率的大小。

    目前多采用动态检漏，即检漏是在真空系统工作状态下进行，示漏气体沿炉子外部巡回喷出，一旦喷到漏气处，示漏气体便被吸人炉内，内部的探头发生反应，输出变化的电信号被外部仪器测量。喷气嘴离开漏孔后，真空系统把炉内的示漏气体抽走，恢复到原来的空气流，探头恢复原来状态，这样就确定了漏孔位置。对真空电阻炉而言，真空计检漏法比较经济实用。

    热传导真空计和电离真空计的读数与气体种类有关，只要选用合适的示漏气体，真空规管就变成了气敏探头，真空计也就成了检漏仪。

热传导真空计遇到氢气、二氧化碳、丁烷、丙醚、乙醚、酒精等气体时，读数会发生变化，可用这些物质做示漏气体进行喷吹检漏。采用电离

真空计检漏时，氢、氦、氢、苯、丁烷、丙醚、乙醚及丙酮等能使读数发生较大变化，因而可用它们做示漏气体。由于热传导真空计反应比较

慢，就是反应快的电离真空计，由于示漏气体在真空系统内建立分压需要一定时间，巡回喷吹的速度都不能太快，而且还要判断是压力的变化还是真空计本身的漂移。检漏过程中，只有示漏气体离开后，真空计能恢复到原来的状态，该位置才是真正的漏孔。