分子泵使用注意事项和清洗

分子泵使用注意事项

    (1)分子泵不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内。

    (2)分子泵系统充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。绝不能从泵的前级管路进行充气。

    (3)分子泵工作时严禁大气量气体进人泵内，否则会导致分子泵损坏。

    (4)分子泵是高速旋转的精密设备，抗振动或冲击能力较弱，因此应避免与振动或冲击强烈设备接触。

    (5)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

    (6)分子泵入口应装设防护网，以避免异物进人泵内损坏泵转子和定子叶片。

    (7)分子泵不宜长时间保持真空状态，防止前级泵油反扩散到分子泵内。

    (8)分子泵停止后，应关闭冷却水，以防止在泵内形成冷凝水。

来源：中国马弗炉网

分子泵的清洗

    分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，在排除漏气的情况下，说明分子泵内部脏化了，就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化。经常采用直接清洗，其方法如下:

    (1)关掉分子泵，进行排气。

    (2)从设备上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分，以免影响密封性。

    (3)卸下冷却器、润滑油包等。

    (4)将分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一个盛有无水酒精的容器中，液面高度略低于前级真空接口。

    (5)上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗。换掉无水酒精，加人新的无水酒精，最少要重复一次。每次在无水酒

精中浸泡大概5~10min。

    (6)取出分子泵，将高真空接口朝上，再缓慢放平，以便排出磁性轴承中的酒精。

    (7)用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要损伤。

    (8)接上前级真空泵，在关闭分子泵的情况下，利用前级泵抽真空，使真空度达到大概10^-1Pa左右，以便完全清除分子泵中残留的无

水酒精。

    (9)因前级真空泵中有酒精，需更换前级泵真空油。

(10)接上分子泵开始工作，因为经过处理后，分子泵中仍有残留的酒精存在，因此第一次抽真空比较慢，属于正常情况。