真空阀门的用途及分类

真空阀门的作用

    在真空系统中，用来切断或接通气路，改变气流方向，调节气流量大小及定量供气的真空元件称为真空阀门。对真空阀门的基本要求是不漏气，具有大的流导，且自身放气率小。真空阀门主要由开启/关闭装置、操作装置及密封装置构成。开启/关闭装置在关闭时密封性要好。操作装置分为手动、电动、电磁、气动控制等，要求操作方便且不漏气。密封装置保证阀Iii、进行关闭或打开操作时不漏气。

真空阀门的种类

    真空阀门的种类繁多，通常按阀门的结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，其分类见如下。国家标准对真空阀门的型号及编制方法都作了规定，可查阅有关标准。

真空阀门分类

分类方法：阀门种类 名称：低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门

分类方法：结构形式 名称：挡板阀、翻板阀、蝶阀、隔板阀、针阀、插板阀

分类方法：驱动方式 名称：手动阀、电动阀、电磁阀、气动阀、液压阀

分类方法：材料     名称：金属真空阀、玻璃真空活塞、塑料阀

分类方法：用途     名称：截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀

分类方法：通道方式 名称：脚阀、直通阀、双通阀、三通阀 、四通阀

常用真空阀门

    (1)真空隔膜阀。真空隔膜阀的漏率小于6.7×10^-4Pa·L/s。

1-手轮;2-螺杆;3-隔膜

图一是真空隔膜阀结构示意图，利用螺杆2将弹性体隔膜3紧压在底座上来隔断气路。利用手轮I转动螺杆带动隔膜上、下移动，使隔膜离开底座打开阀门或使隔膜紧压在底座上关闭阀门。隔膜阀适用于前级阀，安装在预抽真空管道上。隔膜多采用丁晴橡胶，使用温度一般为-25~80℃之间，如采用氟橡胶隔膜，也可用于高真空系统，温度范围扩大为-30~150`C。适用于非腐蚀性气体。

    (2)真空球阀。真空球阀的漏率小于1.3 ×10^-3Pa·L/s。

1-手柄;2-金属球;3-0形圈；4-弹性体;5-通孔 

图二是真空球阀的结构，阀门的开关靠中间的金属球2转动，金属球上有一个通孔5，借助于手柄1转动金属球使通孔改变方向，即可接通或切断气路。两个环状弹性体4紧压于一个金属球表面构成金属球密封，金属球轴杆与阀体间采用0形密封圈3密封。

    (3)真空碟阀。碟阀的漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s，结构比较简单，是真空系统最常用的阀门。阀盘的边缘上嵌有0形密封圈，阀盘被螺栓固定在传动轴阀杆上，使阀杆带动阀板转动，当阀盘上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭，从关闭位置阀板再转动90。时，阀门即完全打开。碟阀的主要优点是体积小，结构简单。

    (4)真空插板阀。真空插板阀的漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s，其结构有多种形式。弹性体密封圈嵌在插板2上。转动手柄1使插板上下滑动，即可打开或关闭阀门，图中是插板阀关闭时的位置。

    (5)真空挡板阀。挡板阀又称盖板阀，漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s。

图三是一种挡板阀的结构，该阀通过挡板2的上升和压下来实现管路的接通和截止。转动手柄1使挡板上下移动，即可打开或关闭阀门。

    (6)真空翻板阀。在阀门打开或关闭的过程中，翻板的运动有一个翻转过程。真空翻板阀的开关一般都是用压缩空气为动力源。

    (7)电磁真空阀。电磁真空阀的密封机构与挡板阀相同，只是开启或关闭由磁铁驱动。在断电的情况下，盖板1被弹簧2压紧而关闭阀门，需要开启时，将电磁线圈3接通电流，铁芯4带动盖板，将阀门打开。电磁真空阀与真空泵可以接在同一电源上，泵的启动与停止直接控制了阀的开启与关闭，实现阀与泵联动。当泵停止工作或电源突然中断时，阀能自动将真空管路封闭，并将大气通过泵的进气口充人泵腔，避免泵油返流污染真空系统。

    (8)针阀。针阀又称真空微调阀，其漏率小于1.3×10^-6Pa·L/s。微调阀针2使阀口开启逐渐变大，通过气体的流量也逐渐变大，实现流m的连续调节。图中的阀针与阀体间的密封是用波纹管实现的。