油扩散泵的使用与维护

油扩散泵的使用与维护

影响扩散泵性能的主要因素

    影响扩散泵性能的主要因素有:

    (1)扩散泵油蒸气的返流，解决的方法是在真空系统上加装冷阱，能有效地防止油蒸气的返流。

    (2)气体分子的反扩散，通过在高真空机组中增加罗茨泵或双机械泵，增大前级泵的抽速，降低扩散泵出气口的压力，这样不仅可减少气体分子的反扩散，而且还能减少油蒸气的返流。

    (3)扩散泵油的裂化分解，采用合格的扩散泵油防止裂化分解。

    (4)扩散泵脏化，污染物留在泵内重复循环，应对扩散泵进行清洗，并更换泵油。

使用注意事项

    (1)定期检查泵的性能，更换符合要求的扩散泵油，参见使用说明书。

    (2)扩散泵加热前及工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后，必须保证泵油已完全冷却后才能关闭冷却水，具体冷却到什么温度才关闭冷却水，详见说明书。

    (3)扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，避免放人大气造成泵油氧化，以延长泵油寿命。

    (4)只有达到扩散泵的前级真空度时，才能进行加热，否则会加速泵油的氧化。

    (5)被抽的应当是干燥、无腐蚀、无灰尘气体。

    (6)如果扩散泵正常工作时真空度突然下降，应首先检查加热器是否断路，再检查是否存在漏点。

    (7)新安装的扩散泵达不到极限真空度，应检查密封是否可靠，装配是否正确。

    (8)扩散泵工作过程中，应注意前级机械泵的工作情况，因为前级机械泵变坏后，直接影响油扩散泵的正常工作。

    (9)要求机械泵的极限压力应比扩散泵前级压力低一个数量级。

保养注意事项

    (1)油扩散泵安装或维修时应垂直放置，使泵芯部件处于正常工作状态。

    (2)清洗零件及泵腔时，先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80-100℃下烘干或用电吹风吹干。

    (3)清洗完毕后，按顺序进行装配，注意保持泵芯与泵底垂直，并与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

    (4)连接密封处，橡胶密封应可靠。

    (5)扩散泵如暂时不用，保管期问应在室温保持真空状态，以免泵油污染和零件腐蚀，并将冷却水套内的剩水吹净。

(6)在长期工作后，泵性能逐渐变坏，应检查油量是否减少或氧化，必要时增添油量，更换新油时要清洗后烘干。