电阻真空计的校准

电阻真空计的校准

    电阻规管受制造材料、工艺、装配等方面因素的影响，同型号中不同电阻规管的性能有所差异。因此，在使用新的电阻规管时需对真空计进行零点和满度的校准，以降低测量误差。另外真空计使用一段时间，或者是环境温度变化较大，使真空计在大气测量状态下，显示值不为10^5Pa，也要进行满度校准。电阻真空计都有零点校准及满度校准按键或旋钮，按照说明书要求进行调校。一般先校准零点，再进行满度校准。

    (1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

    (2)满度校正。校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5 Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。