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概述
nEXT是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO或 CF入口法兰。nEXT 泵将我们的成熟轴承技术（油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承）以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起，以提供改进的抽速和压缩比，同时提供真正的用户可维护性。 它们采用 24V 到 48V 的直流无传感器电机，具备内置的驱动，完全兼容我们的 TAG 和 TIC 控制器系列。 该分子泵有 80W 和 160W 两种最大预设功率可选。前者适用于我们的 100W TIC 控制器，也是泵送氩气时的建议选择，但该功率下达到完全运行速度的加速时间比较长。
基本的泵系统可能需要 nEXT 泵、TAG 或 TIC 控制器，空气或水冷却附件以及合适的前级泵。
功能和优势
最新的转子设计提高了性能，可以实现卓越的抽速和压缩比
最终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修，无需复杂的工具或大卸...您就可以完成！
设计紧凑，性能卓越，可以实现高效系统化
与 Edwards TIC 涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器
符合 RoHS 并获得 CSA/UL 认可
技术数据
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nEXT240D |
nEXTt300D |
nEXT400D |
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入口法兰 |
DN100ISO-K，DN100CF |
DN100ISO-K，DN100CF |
DN160ISO-K，DN160CF |
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出口法兰 |
DN25NW |
DN25NW |
DN25NW |
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抽速 |
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N2 |
240 ls-1 |
300 ls-1 |
400 ls-1 |
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He |
230 ls-1 |
340 ls-1 |
390 ls-1 |
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H2 |
165 ls-1 |
280 ls-1 |
325 ls-1 |
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压缩比 |
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N2 |
>1 × 1011 |
>1 × 1011 |
>1 × 1011 |
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He |
3 x 105 |
1 x 106 |
1 x 108 |
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H2 |
1 x 104 |
5 x 104 |
5 x 105 |
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针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力 |
<6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
<6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
<1 x 10-8/<1 x 10-10 mbar |
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推荐前级泵* |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
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排气口 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
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吹扫口 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
1/8 英寸 BSP 母头 |
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最大连续入口流量（氮气）† |
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水冷却（15°C 的水，40°C 的环境温度） |
45 sccm |
95 sccm |
105 sccm |
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强制空气冷却，35°C 环境温度 |
30 sccm |
115 sccm |
90 sccm |
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泵旋转速度 |
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标称旋转速度 |
60000 rpm |
60000 rpm |
60000 rpm |
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待机旋转速度 |
可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm） |
可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm） |
可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm） |
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可编程功率限制设置 |
可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W） |
可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W） |
可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W） |
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到 90% 速度的启动时间 |
115s‡ |
145s‡ |
180s‡ |
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模拟输出 |
泵旋转速度； |
泵旋转速度； |
泵旋转速度； |
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冷却方法# |
强制空气/水 |
强制空气/水 |
强制空气/水 |
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强制空气冷却的环境空气温度 |
5 - 35°C |
5 - 35°C |
5 - 35°C |
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最小冷却水流速（15°C 的水） |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
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水温范围 |
10 - 20°C |
10 - 20°C |
10 - 20°C |
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最高入口法兰温度 |
75°C |
80°C |
70°C |
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操作姿态 |
垂直且竖直，直到 |
垂直且竖直，直到 |
垂直且竖直，直到 |
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1 米处的噪音级别 |
<45 dB(A) |
<45 dB(A) |
<45 dB(A) |
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泵可以承受的最大磁场 |
5 mT |
5 mT |
5 mT |
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推荐控制器 |
TIC200 分子泵和仪器控制器 |
TIC200 分子泵和仪器控制器 |
TIC200 分子泵和仪器控制器 |
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静止电功率 |
通常为 20W |
通常为 20W |
通常为 20 W |
